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          半導體行業凈化解決方案
          
	
          晶圓設備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。
          

          傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁復的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優良的機組，為潔凈室輸送高質量的循環空氣。
          

           
          

          

          


          


          污染物
          
          		


          來源
          
          		


          引發問題
          
          		


          解決方案
          
          		

          

          


          粉塵
          
          		


          空氣
          
          		


          造成集成電路斷路、短路，影響成品率
          
          		


          化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU
          
          		

          

          


          NH3，NMP
          
          		


          外氣
          
          		


          “T-top“現象
          
          		


          化學過濾模塊
          
          		

          
          

          

          

           
          

           
          

          部分成交客戶
          

           
          
    
          
	
          
    	
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