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MEMS(微納機電系統)和風淋室

    據了解,在位于蘇州工業園區金雞湖大道的蘇州奈米城內，國內首個市場化運作、全開放的 MEMS 中試平臺已漸露雛形，目前該中試平臺設備調試工作正在緊張有序進行中，8月將試運行，未來它將開展微納機電共性技術和標準工藝的研發，提供中試加工、檢測分析、設備租賃和代工技術轉移等服務。那么MEMS(微納機電系統)又和風淋室有什么關系呢?

    Fenglins應邀來到了近千平米的潔凈室,此房間便是微機電制造的“主戰場”，按照工藝流程分為“光刻區”、“蝕刻區”、“薄膜區”、“擴散區”、“注入區”和“封裝測試區”。在MEMS中試平臺相關負責人的帶領下，穿梭在160多套頂尖的制造機臺間，“高大上”的氣息撲面而來。“微納機電制造與傳統的積體電路不同，除讓硅片長膜，再蝕刻出擁有不同功能的相應‘圖案’外，它更注重立體結構的搭建。”

整個MEMS中試平臺的潔凈度等級分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴苛的是光刻區，按照標準，即使是肉眼看不見的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。MEMS中試平臺的專業還體現在對環境的苛刻要求，溫度要時刻保持23度，上下幅度不能超過1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過5%。進入該平臺的“心臟”--超凈間之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備?？蓜e以為這樣就能輕松進入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要通過風淋室里的12個風淋嘴進行至少10秒鐘的吹風清潔，以確保拂去塵土。

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